、使用注意事项:
1、所有配件(控制器、电源线、加热片等除外)放入按实验要求一定浓度的酸液中浸泡,去除杂质。
2、加酸前必须做好个人防护如:防溅眼镜、防酸手套等(蒸水除外)。
【电子级酸】:
适用于半导体生产过程中所用产品的清洗和蚀刻以及痕量金属元素残留分析,根据质控的金属元素含量的数量和含量,划分为4个级别:MOS级,VLSI级,ULSI级,SLSI级
MOS级(EL级):控制十多个金属元素,单项金属元素杂质控制在100PPb左右
VLSI级:控制三十多个金属元素,单项金属元素杂质控制在10~100PPb
ULSI级:控制三十多个金属元素,单项金属元素杂质控制在10PPb以下
SLSI级:控制三十多个金属元素,单项金属元素杂质控制在1PPB以下
所谓的电子级酸,其实就是ppb或者ppt级的高纯酸。
实验数据(仅供参考):仪器:CH-I 酸纯化器;试剂:优级纯酸
蒸馏后,经中国地质大学地质过程与矿产资源重点实验室ICP-MS检测出HF中杂质的含量:
元素 |
测量浓度(ng/g=ppb) |
元素 |
测量浓度(ng/g=ppb) |
Be |
<0.01 |
Ba |
<0.01 |
Mg |
<0.02 |
La |
<0.01 |
Sc |
<0.01 |
Ce |
<0.01 |
V |
<0.01 |
Pr |
<0.01 |
Cr |
<0.03 |
Nd |
<0.01 |